双氘灯和卤钨灯混合光源系统， Dual deuterium and tungsten-halogen hybrid light source
双氘灯和卤钨灯混合光源系统中，包括两个深紫外氘灯光源和一个卤钨灯光源。氘灯光源采用了特殊光学设计，使**个氘灯具有与**个氘灯相同的光路。在双氘灯和卤钨灯光源系统中，采用了合适的聚焦和准直设计，以获得*大的光功率输出。
通常情况下，氘灯光源的光功率要小于卤钨灯光源的光功率，但是，在一些特殊的应用中，需要高功率深紫外光源，那么，该双氘灯和卤钨灯光源系统是一个不错的选择。
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